三氯氫硅，是一種無機物，分子量為135.45，無色透明液體。用作高分子有機硅化合物的原料，也用于儀表工業。皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，用流動清水徹底沖洗至少15分鐘，就醫。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘，就醫。吸 入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道暢通，如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸，就醫。食 入：誤服者用清水漱口，給飲牛奶或蛋清，就醫。SiHCl3的貯罐如果發生泄漏，其危險性遠遠大于工藝管道泄漏的危險性，因為其貯量大，一旦發生泄漏，如果不及時堵漏，影響會不斷擴大。貯罐區因為冷卻用水的需要，經常有水存在，泄漏的SiHCl3遇水發生反應，產生有毒的HCl，向四周擴散，給搶險救援工作帶來困難。
